首先第一步需要測試體積電阻值和表面電阻值，然后根據試樣的尺寸和電極系數，根據計算公式得到體積電阻率和表面電阻率，體積和表面電阻測試時，對電壓試樣的位置不同，從而能夠不同的電阻值

在接和未接試樣時電容的變化量是通過這個電容器來測得。在測微計電極中，次要的誤差來源于電容校正時所包含的電極的邊緣電容，此邊緣電容是由于插入一個與電極直徑相同的試樣而稍微有所變化,實際上只要試樣直徑比電極直徑小2倍試樣厚度，就可消除這種誤差。首先將試樣放在測微計電極間并調節測量電路參數。然后取出試樣，調節測微計電極間距或重新調節標準電容器來使電路的總電容回到初始值。△G——接入試樣后，（圖1）的兩個電容讀數之差。值得注意的是在整個試驗過程中試驗頻率應保持不變。貼在試樣上的電極的電阻在髙頻下會變得相當大，如果試樣不平整或厚度不均勻，將會引起試樣損耗因數的明顯增加。這種變得明顯起來的頻率效應，取決于試樣表面的平整度。

該頻率也可低到10MHzt因此，必須在ioMHg及更高的頻率下，且沒有貼電極的試樣上做電容的損耗因數的附加測量，假設Cw和tan<5w為不貼電極的試樣的電容和損耗因數，Cw-…帶電極的試樣電容。在一個線路兩點之間的接地屏蔽，可消除這兩點之間的所有的電容，而被這兩個點的對地電容所代替，因此，導線屏蔽和元件屏蔽可任意運用在那些各點對地的電容并不重要的線路中；變壓器電橋和帶有瓦格納接地裝置的西林電橋都是這種類型的電路。從另一方面來說,在采用替代法電橋里，在不管有沒有試樣均保持不變的線路部分是不需要屏蔽的。實際上，在電路試樣、檢測器和振蕩器的連線屏蔽起來。對于100kHz數量級或更高的頻率，連線應可能短而粗。